
二流体清洗(Two-fluid Cleaning)属于物理清洗方式,但其具体作用机制可能涉及物理与化学的综合作用。以下是详细分析:
1. 什么是二流体清洗?
二流体清洗是通过两种不同介质(通常是气体和液体)的高速喷射或混合,利用冲击力、剪切力等物理作用清除表面污染物。典型介质组合包括:
气体+液体:如氮气与去离子水、压缩空气与清洗剂。
两种不相溶液体:如水与酒精混合喷射。
2. 为什么属于物理清洗?
二流体清洗的核心是物理作用,具体表现为:
冲击力清除颗粒:高速流体(如氮气或压缩空气)携带液体冲击表面,通过剪切力、摩擦力剥离污染物。
空化效应(超声波辅助):若结合超声波,液体中的气泡破裂产生空化效应,增强物理清洗效果。
无化学反应:若使用纯水或惰性气体(如氮气),清洗过程中不发生化学分解或反应。
3. 是否可能涉及化学作用?
虽然二流体清洗以物理作用为主,但在某些情况下可能引入化学辅助:
添加清洗剂:如在液体中加入酒精、表面活性剂或弱酸性/碱性溶液,通过化学反应溶解油污、氧化物等。
溶剂选择:若使用特定溶剂(如异丙醇、氟化液),可能通过溶解或分散作用去除污染物。
4. 二流体清洗的分类
清洗类型主要作用机制示例纯物理清洗冲击力、剪切力、空化效应氮气+去离子水清洗半导体晶圆物理+化学复合物理冲击+化学溶解/分散压缩空气+酒精清洗电路板焊锡残留
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