二流体清洗（Two-fluid Cleaning）属于物理清洗方式，但其具体作用机制可能涉及物理与化学的综合作用。以下是详细分析：
1. 什么是二流体清洗？
二流体清洗是通过两种不同介质（通常是气体和液体）的高速喷射或混合，利用冲击力、剪切力等物理作用清除表面污染物。典型介质组合包括：
气体+液体：如氮气与去离子水、压缩空气与清洗剂。
两种不相溶液体：如水与酒精混合喷射。
2. 为什么属于物理清洗？
二流体清洗的核心是物理作用，具体表现为：
冲击力清除颗粒：高速流体（如氮气或压缩空气）携带液体冲击表面，通过剪切力、摩擦力剥离污染物。
空化效应（超声波辅助）：若结合超声波，液体中的气泡破裂产生空化效应，增强物理清洗效果。
无化学反应：若使用纯水或惰性气体（如氮气），清洗过程中不发生化学分解或反应。
3. 是否可能涉及化学作用？
虽然二流体清洗以物理作用为主，但在某些情况下可能引入化学辅助：
添加清洗剂：如在液体中加入酒精、表面活性剂或弱酸性/碱性溶液，通过化学反应溶解油污、氧化物等。
溶剂选择：若使用特定溶剂（如异丙醇、氟化液），可能通过溶解或分散作用去除污染物。
4. 二流体清洗的分类
清洗类型主要作用机制示例纯物理清洗冲击力、剪切力、空化效应氮气+去离子水清洗半导体晶圆物理+化学复合物理冲击+化学溶解/分散压缩空气+酒精清洗电路板焊锡残留
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